氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的氣體檢測儀器，它利用了帶電粒子在磁場中偏轉(zhuǎn)的原理來識別不同原子量的氣體。其工作過程如下：首先將待測容器充入惰性氣體（主要是氮氣），然后將管路接通真空泵進(jìn)行抽空處理；接著打開進(jìn)樣閥使被探測的氣體進(jìn)入靜電引弧極間形成輝光放電而被離子化、激發(fā)而產(chǎn)生正負(fù)電子流；之后由穩(wěn)壓電源供給高壓于陰板和陽板上分別收集這些自由電子并維持兩板的導(dǎo)電回路閉合電路；通過測量出電流強(qiáng)度即可確定泄漏率的大小或樣品中的質(zhì)量分?jǐn)?shù)含量。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和測量微小泄漏的設(shè)備，主要用于航空航天、汽車制造等領(lǐng)域。它利用高純度惰性氣體——氦氣作為示蹤劑，通過收集和分析從泄釋放出來的氦氣來定位并定量測量的實際物理參數(shù)值的大小與位置。
該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍廣泛且多樣化：在飛機(jī)發(fā)動機(jī)上可以檢查油箱是否存在滲漏；對密封條橡膠制品中的缺陷及龜裂等進(jìn)行檢驗，以評價輪胎質(zhì)量的好壞等。此外,還可以用來確定真空器件或容器法蘭結(jié)合面的嚴(yán)密情況;在半導(dǎo)體行業(yè)可監(jiān)控半導(dǎo)體制程中可能出現(xiàn)的問題等等方面有著重要的作用。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測電子產(chǎn)品的密封性能，常用于手機(jī)、筆記本電腦等產(chǎn)品在量產(chǎn)線上的可靠性和一致性測試。該系統(tǒng)的操作原理是：首先將待測電子產(chǎn)品放入真空氣氛室中抽真空并充入高純度惰性氣體——氦氣；然后通過的信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻電脈沖或機(jī)械振動源（聲學(xué)法），均勻地輻射到被測樣品上形成特定的應(yīng)力場；接著利用示蹤粒子“氦”原子無色透明且易與環(huán)境介質(zhì)充分滲透的特點，使氦氣的濃度能夠迅速傳遞到達(dá)泄漏點并在其中彌散和溶解起來；使用靈敏的測量儀器對抽取到的含有微小泄露物的樣本進(jìn)行定量分析以得出樣品的實際壓力值并與參考標(biāo)準(zhǔn)相比較來判斷是否合格。
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